2024-весна: Нанотехнология на основе полупроводниковых материалов: ИФИО

Цель курса – ознакомить студентов с нынешним состоянием наноэлектроники, являющейся логическим продолжением и развитием микроэлектроники, ее возможностях и путях совершенствования. Дать представление о физических и технологических аспектах проблемы создания полупроводниковых наногетероструктур, содержащих низкоразмерные объекты – квантовые ямы, квантовые нити и квантовые точки, на основе которых создается современная элементная база наноэлектроники. Сформировать представление о разработанных к настоящему времени технологических процессах получения наноразмерных структур. Дать сведения об используемом в нанотехнологиях оборудовании, принципах его работы, основных характеристиках и конструкции.