2023-осень: Физико-химические основы микро- и наноэлектроники: ИФИО

В результате изучения дисциплины студент должен знать основные понятия, законы и модели физики и химии;

физическую и химическую сущность процессов, протекающих при реализации нанотехнологий, возможности и

характеристики материалов, используемых в нанотехнологиях; основные научно-технические проблемы и перспективы

развития нанотехнологии, ее взаимосвязь со смежными областями; основные виды и свойства нанобъектов,

наноматериалов, приборов и устройств на их основе, типовые технологические процессы их получения, элементную

базу, а также типовое оборудование; технологические процессы получения и обработки наноматериалов, их

возможности, ограничения, взаимосвязи и перспективы развития; критерии выбора вариантов технологии;